CDM integrerad tjockleks- och arealdensitetsmätare

Applikationer

Beläggningsprocess: online-detektering av små egenskaper hos elektroden; vanliga små egenskaper hos elektroden: semesterbrist (inget läckage från strömavtagaren, liten grå skillnad med normalt beläggningsområde, fel på CCD-identifiering), repor, tjocklekskontur av uttunningsområdet, AT9-tjockleksdetektering etc.

Skicka e-post till oss

Produktinformation

Produktetiketter

Principer för mätning

Principer för mätning av ytdensitet

Röntgen-β-strålningsabsorptionsmetod

Principer för tjockleksmätning

Korrelation och lasertriangulering

Tekniska testegenskaper för CDM

Scenario 1: Det finns en 2 mm bred paus/brist på elektrodytan och en kant är tjockare (blå linje som visas nedan). När strålfläcken är 40 mm ser effekten av den uppmätta ursprungliga dataformen (orange linje som visas nedan) tydligt mindre ut.

Scenario 2: profildata för dynamisk gallringsområde 0,1 mm databredd

Programvarufunktioner

Tekniska parametrar

Namn	Index
Skanningshastighet	0–18 m/min
Samplingsfrekvens	Ytdensitet: 200 kHz; tjocklek: 50 kHz
Mätning av ytdensitetsområde	Ytdensitet: 10~1000 g/m²; tjocklek: 0~3000 μm;
Mätningsupprepning noggrannhet	Ytdensitet: 16s integral: ±2σ: ≤±sant värde * 0,2‰ eller ±0,06 g/m²; ±3σ:≤±sant värde * 0,25‰ eller +0,08 g/m²; 4s-integral: ±2σ: ≤±sant värde * 0,4‰ eller ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±sant värde * 0,6‰ eller ±0,18 g/m²;Tjocklek: 10 mm-zon: ±3σ: ≤ ± 0,3 μm; 1 mm-zon: ±3σ: ≤±0,5 μm; 0,1 mm-zon: ±3σ: ≤±0,8 μm;
Korrelation R2	Ytdensitet >99 %; tjocklek >98 %;
Laserpunkt	25*1400μm
Strålskyddsklass	GB 18871-2002 nationell säkerhetsstandard (strålningsundantag)
Livslängd för radioaktiva källa	β-strålning: 10,7 år (halveringstid för Kr85); röntgen: > 5 år
Svarstid för mätning	Ytdensitet < 1 ms; tjocklek < 0,1 ms;
Total effekt	<3 kW